DFG Schwerpunktprogramm 1159

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DFG Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für
die
Produktion von
 Mikrosystemen und Nanostrukturen
QFM
 
 
     

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DFG Schwerpunktprogramm 1159

Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Koordinator: Prof. Dr.-Ing. Dr.-Ing. E.h. Dr. h.c. mult. A. Weckenmann
Laufzeit: 2004 - 2010



Thematisches Ziel:
Ziel des Programms ist das Bereitstellen von neuen Strategien und Methoden für die funktionsorientierte Definition von Kenngrößen, die zielgerechte Auswahl des wirtschaftlich und technisch angemessenen Messverfahrens, den Ablauf der Messung, die Berücksichtigung wirkender Einflüsse bis hin zur Darstellung der Messergebnisse für die Anwendung in der industriellen Fertigung. Eingeschlossen sind Kalibrierverfahren und werkstattgerechte Normale. Damit können verfügbare Messverfahren in der Produktion von Mikrosystemen und Präzisionsbauteilen mit Nanostrukturen so eingesetzt werden, dass Mess- und Prüfverfahren einheitlich vereinbart werden können und rückführbare Ergebnisse ermittelt werden. In den Projekten des Schwerpunkts sollen Grundsätze, Prinzipien und Regeln für Messgrößendefinitionen, Messabläufe und Gestaltung von Elementen der prüftechnischen Kette erforscht und die Ergebnisse in anwendungsgerechten Tests verifiziert werden.



 
 



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