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DFG Schwerpunktprogramm 1159

---- StraMNano ----

Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für
die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen

	ET/IT: Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
	IFF: Institut für Industriellle Fertigung und Fabrikbetrieb
	ISYS: Institut für Systemdynamik
	ITO: Institut für Technische Optik
	BAM: Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung
	BIMAQ: Bremer Institut für Messtechnik, Automatisierung und Qualitätswissenschaft
	IAP: Institute of Applied Physics
	IFMT: Institut für Konstruktion, Mikro- und Medizintechnik
	IHT: Institut für Halbleitertechnik und Nanoelektronik
	IIA: Institut für Informatik und Automation
	IMR: Institut für Mess- und Regelungstechnik
	IMT: Institut für Mikrotechnik
	IMTEK: Institut für Mikrosystemtechnik
	IOF: Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik
	IPEK: Institut für Produktentwicklung
	IPROM: Institut für Produktionsmesstechnik
	IPT: Institut für Produktionstechnologie
	MRM: Institut für Mess-, Regel- und Mikrotechnik
	PTB: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
	QFM: Lehrstuhl Qualitätsmanagement und Fertigungsmesstechnik
	WBK: Institut für Produktionstechnik
	WZL: Werkzeugmaschinenlabor der RWTH Aachen
	TU ILMENAU: Technische Universität ILMENAU

Interner Bereich:
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