| Nr. |
Antragsteller |
Titel |
| Name |
Ort |
| SPP_03_01 |
Prof. Dr.-Ing. Dr. Albers
Prof.
Dr.-Ing. Lanza
|
Karlsruhe
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Integration
von Funktionsprüfung und dimensioneller Messtechnik zu einer
optimierten Qualitätssicherungsstrategie für
Mikroverzahnungen
|
| SPP_03_02 |
Prof.
Dr. Büttgenbach
Prof. Dr.-Ing. Tutsch |
Braunschweig |
Parallelisierte taktile
Messtechnik für Mikrostrukturen |
| SPP_03_03 |
Dr. rer. nat. Goebbels
Dr.-Ing. Neuschaefer-Rube |
Berlin
Braunschweig
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Hochgenaue
Geometriebestimmung von
Mikrobauteilen mit CT - Genauigkeitssteigerung durch moderne
Rekonstruktions- und adaptive Messverfahren |
| SPP_03_04 |
Prof. Dr.-Ing. habil.
Linß |
Ilmenau |
Vermeidung von
Fehlantastungen an
Mikrostrukturen durch Erkennung von Fremdpartikeln mittels spektraler
Dekompostition (Spektraldekomposition) |
| SPP_03_05 |
Prof. Dr. Westkämper
Prof.
Dr. Osten
Prof. Dr.-Ing. Sawodny |
Stuttgart
|
Neue multiskalige
Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die
Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in der Produktion |
| SPP_03_06 |
Prof.
Dr. Osten
Prof. Dr. Paul
|
Stuttgart
Freiburg
|
Neue
Kalibrierstrategien für die fertigungsnahe Ermittlung
mechanischer Eigenschaften von Mikrosystemen (MikroKal) |
| SPP_03_07 |
Prof. Dr. rer. nat. Tünnermann
Dr. Duparré |
Jena
|
Funktionsbezogene
Bewertung von Nanorauheiten auf fertigungsrelevanten
Oberflächen durch Streulichmessverfahren |
| SPP_03_08 |
Dr. rer. nat. Unger |
Berlin |
Neuartige
räumlich strukturierte
Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität
und die
Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie |
| SPP_03_09 |
Prof. Dr.-Ing. Dr.-Ing. E.h. Dr. h.c. mult.
Weckenmann |
Erlangen |
Grundlagenuntersuchung
zur Wirkungsweise von Einflüssen auf das Messergebnis in der
Mikro- und Nanoprüftechnik |
| SPP_03_10 |
Prof. Dr.-Ing. Dr.-Ing. E.h. Dr. h.c. mult.
Weckenmann |
Erlangen |
Automatisierte
Segmentierung, Registrierung und Fusion von Messpunktwolken zur
Prüfung von Mikrobauteilen mit Standard Geometrie Elementen |
| SPP_03_11 |
Dr.-Ing.
Neuschaefer-Rube |
Braunschweig |
Einfluss des
Werkstücks auf hochgenaue Koordinatenmessungen mit optischen
Abstandssensoren |
